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      國產質量流量計

      更新時間:2023-01-05

      簡要描述:

      國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

        免費咨詢:86-10-87241391

        發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

      一、國產質量流量計產品特點

      · 測量質量流量

      · 無需溫度和壓力補償

      · 結構緊湊

      · 精度高

      · 工作壓力高

      · 響應時間快

      · 重復性高

      二、國產質量流量計產品簡介

      本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

      三、國產質量流量計技術參數

      型號

      質量流量計/質量流量控制器

      流量范圍(N2)

        10SCCM~100SLPM

        響應時間

        <2 sec

      精準度

        ≤±1% FS

        重復精度

        ±0.2% FS

        輸入/輸出信號

      0~5 Vdc OR 4~20 mA

      供電電源

        ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

       耐壓

        <100bar

      工作環境溫度

        0~50 °C

      漏率

        1*10E-9 atm cc/sec

      使用范圍

        2 ~ 100%

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